| 形状 | 侧面排气 |
| 附加功能區域抓具 | 湿晶片 |
| 长度 L | 146 (mm) |
| 宽度 B | 146 (mm) |
| 高度 H | 65 (mm) |
| 材料 | 聚醚醚酮 |
光伏吸盘 SWGm Wet
位置和尺寸特殊的吸取点可确保湿晶片的安全搬运
结构高度低且重量轻，搬运速度极快且定位精确
吸率高，即使在部分占用或出现泄漏（例如晶片穿孔）的情况下，也可确保牢固抓取
以受控方式排放所吸入的空气，可避免工艺腔室被污染
快速放置功能确保晶片的精确定位
设计
设计
- 基本型带轴向（A）或侧向（S）排气（3）
- 吸附区域造型可提供常见电池尺寸125 mm和156 mm（5" 和6"）
- 可选部件（II）用于控制废气排放
- 模块化设计，带传感器安装附件、抽吸和缓冲（I）模块以及各种法兰模块（III）
- 轻量化塑料设计，整体高度最低
技术参数
技术参数
- 尺寸：115 x 115 mm至146 x 146 mm
- 基础版为侧向排气
- 吸附面板材质：PEEK
结果 1至 2 个 2 项目
| 形状 | 侧面排气 |
| 附加功能區域抓具 | 湿晶片 |
| 长度 L | 115 (mm) |
| 宽度 B | 115 (mm) |
| 高度 H | 65 (mm) |
| 材料 | 聚醚醚酮 |