止回阀、流量电阻器和传感阀

止回阀和流量电阻器以及传感阀可提高真空系统的工艺安全性和高效性。

一旦达到一定的体积流量，止回阀就会立即中断流量。这将关闭抓具系统中任何可能未被完全盖板盖住的吸盘。系统真空将保持不变。

阻流阀可减小真空系统中的流动横截面，主要用于多孔工件的抓具搬运系统。通过减小流动横截面，即使吸盘未被盖板盖住，系统真空也能保持不变。

当吸盘上有工件时，传感阀通过弹簧固定安装的缓冲支杆打开吸盘通道。当吸盘被占用（=工件存在）时，真空的管路被打开。传感阀不能保护系统免受部分吸盘被占用的影响。