选择真空开关

可用的功能如下：

• 可调整的开关点调整
• 固定或可调整的滞后磁滞
• 数字和/或模拟信号输出
• 功能 LED
• 带输入键盘的显示屏
• 真空连接 M5-IG、M8-AG、法兰或管插头
• 电源和信号连接电缆或 M8 连接插头

可用的版本及其各自的技术资料在 "开关和系统监测 "一章中有说明。

在本例中，我们选择

使用的SCPi 20 类型的 集成式真空发生器 配有集成的系统监测器 （数字输出信号）。不需要额外的真空开关。